Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik - Image 1

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Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik

Inorganic Chemistry

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Description

Die homogene Beschichtung von Substraten mit widerstands-fähigen Maskenmaterialien ist ein Schlüsselschritt in der Halbleitertechnologie. Dieses Buch befasst sich mit dem ökonomisch vorteilhaften Spin-Coating-Verfahren zur Applikation von geeigneten Zirkoniumdioxid-Schichten auf 300 mm Silizium-Wafern. Ausgehend von flüssigen Solen werden über Sol-Gel-Transformation feste Schichten erhalten, deren Eigenschaften für die Anwendung einstellbar sind. Mittels der entwickelten Beschichtungsstrategien sind nanokristalline Zirkoniumdioxid-Filme zugänglich, deren ausgezeichnete Dichte- und Härte-eigenschaften den Weg zum Einsatz als Hartmaskenmaterialien ebnen. Das Anwendungspotential wird anhand spezifischer Ätzversuche gezeigt. Die aus den umfassenden analytischen Untersuchungen gewonnenen Erkenntnisse liefern einen essentiellen Beitrag zum Verständnis des Temperverhaltens von Sol-Gel-Schichten.

Product Specifications

Brand: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften
Format: paperback
ASIN: 3838127870
Category: Books > Subjects > Science, Nature & Maths > Chemistry > Inorganic Chemistry
Domain: Amazon UK
Release Date: 09 September 2011
Listed Since: 09 September 2011

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Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung und Anwendung als Hartmaskenmaterialien in der Halbleitertechnik

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